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捷歐路JEOL JEBG系列 大功率電子槍/電源爐

名稱:其他儀器與工具

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簡介:捷歐路JEOL JEBG系列 大功率電子槍/電源爐是用來在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源,能在寬幅塑料及大面積玻璃基板上持續(xù)、高速率地鍍膜,還可應用于電子束熔煉,用于高熔點金屬鑄錠的制備及精煉。電子束能大范圍地快速掃描,通...

  • 產(chǎn)品介紹
捷歐路JEOL JEBG系列 大功率電子槍/電源爐是用來在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源,能在寬幅塑料及大面積玻璃基板上持續(xù)、高速率地鍍膜,還可應用于電子束熔煉,用于高熔點金屬鑄錠的制備及精煉。電子束能大范圍地快速掃描,通過專用的控制裝置和軟件,能生成各種電子束照射圖形和區(qū)域。由于能夠在各個照射位置上設定掃描、停留時間、輸出功率及電子束形狀,因而能夠控制熔融面和膜厚分布。
捷歐路JEOL JEBG系列 大功率電子槍/電源爐用途:真空蒸鍍。阻隔膜、保護膜、電極膜、導電膜、磁性膜等薄膜的形成。真空熔解,Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔點金屬鑄錠的制備及精煉。提煉太陽能電池的多晶硅。
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