本文所述的設(shè)備、
儀器、系統(tǒng)主要用于對(duì)金屬加工件的形位誤差幾何量測(cè)量。隨著計(jì)算機(jī)、激光技術(shù)、電子學(xué)技術(shù)的發(fā)展和各種高技術(shù)多學(xué)科的相互滲透,它們由傳統(tǒng)的機(jī)械式、氣動(dòng)式、電子式發(fā)展到光、機(jī)、電一體化的綜合式,由加工后測(cè)量發(fā)展到在線(xiàn)監(jiān)控測(cè)量,由接觸式測(cè)量發(fā)展到非接觸式測(cè)量。術(shù)向著自動(dòng)化、智能化、動(dòng)態(tài)、高精度發(fā)展,檢測(cè)結(jié)果向著數(shù)字化與圖象化發(fā)展,體積向著小型化發(fā)展,結(jié)構(gòu)向著模塊化、單元組合式發(fā)展,檢測(cè)功能向著綜合性、多參數(shù)、多維發(fā)展。
三座標(biāo)測(cè)量機(jī)是大型測(cè)量設(shè)備中較典型的代表,英國(guó)、美國(guó)、瑞士等國(guó)家的產(chǎn)品具有較高的水平。此類(lèi)的高檔產(chǎn)品,國(guó)外占據(jù)我國(guó)80%以上的市場(chǎng)份額,較高和中檔水平的產(chǎn)品,我國(guó)已經(jīng)能夠滿(mǎn)足市場(chǎng)的需要。主要廠家有:青島前哨布朗公司、上海量具刃具廠、西安愛(ài)德華公司、航空精密機(jī)械研究所等廠家,其中青島前哨布朗公司的產(chǎn)品已有較大出口量。目前,三座標(biāo)測(cè)量機(jī)的最大缺點(diǎn)是:采用接觸式測(cè)量方式,影響其精度的提高和使用的廣泛性。未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)是采用非接觸式的測(cè)量方式。
目前,我國(guó)光電非接觸式的檢測(cè)產(chǎn)品與發(fā)達(dá)國(guó)家相比差距較大,國(guó)外典型的廠家有:美國(guó)Zygo和Tsi公司,英國(guó)Renishaw公司,瑞士Zambach公司,德國(guó)Zeiss和Opton公司,日本安立、三菱、松下公司等。它們的精度指標(biāo)已達(dá)到0.1微米,產(chǎn)值以每年10%的速度遞增,占據(jù)主要的國(guó)際市場(chǎng)。國(guó)內(nèi)能夠生產(chǎn)這類(lèi)產(chǎn)品的主要廠家有北京萊格超精光電研究所、萊格光電儀器公司、長(zhǎng)春光機(jī)學(xué)院等廠家。其主要產(chǎn)品有:激光掃描多功能檢測(cè)儀;通用激光測(cè)量?jī)x;形位誤差光電綜合測(cè)量機(jī);激光圓度儀等產(chǎn)品。
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