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涂層測(cè)厚儀測(cè)量涂層厚度的方法

2012-09-16

涂層測(cè)厚儀的測(cè)量方法主要有:楔切法,光截法,電解法,厚度差測(cè)量法,稱重法,X射線熒光法,β射線反向散射法,電容法、磁性測(cè)量法及渦流測(cè)量法等等。這些方法中前五種測(cè)量方法均為有損檢測(cè),且測(cè)量手段復(fù)雜,測(cè)算結(jié)果速度慢等缺點(diǎn),目前多在抽檢活動(dòng)中使用。
    X射線和β射線法是無接觸無損測(cè)量,且裝置復(fù)雜昂貴,測(cè)量范圍較小。同時(shí)這類測(cè)量方式帶有放射源,使用者必須遵守射線防護(hù)規(guī)范。在測(cè)量厚度上X射線法可測(cè)極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號(hào)大于3的鍍層測(cè)量,電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測(cè)厚時(shí)采用。
    隨著技術(shù)的日益進(jìn)步,特別是近年來計(jì)算機(jī)技術(shù)的引入,磁性法和渦流法測(cè)量的涂層測(cè)厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實(shí)用化的方向邁進(jìn)了一步。測(cè)量精度有了大幅度的提高,分辨率達(dá)到0.1微米,精度達(dá)到1%。它適用范圍廣,量程寬、操作簡(jiǎn)便且價(jià)廉,是工業(yè)和科研使用最廣泛的測(cè)厚儀器。
    采用無損方法既不破壞覆層也不破壞基材,檢測(cè)速度快,能使大量的檢測(cè)工作經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行,這些優(yōu)點(diǎn)使得具有無損特性的涂層測(cè)厚儀得到廣大企業(yè)的熱烈追捧。

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